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          日本ULVAC CFB-1600N耐腐蝕分子泵技術參數

          發布時間: 2015-12-29  點擊次數: 1352次

          日本ULVAC CFB-1600N耐腐蝕分子泵 一、產品簡介

                  CFB-N系列脂潤滑分子泵其葉輪采用國內*的變截面葉齒,軸承采用脂潤滑陶磁精密軸承,以更高的可靠性實現了泵的任意角度安裝和清潔無油的高真空環境,廣泛應用于光伏、照明、宇航、半導體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車等真空技術的各個領域。

           

          日本ULVAC CFB-1600N耐腐蝕分子泵 二、產品特點

                  

          • 由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。
          • 軸承采用脂潤滑陶瓷精密軸承,可以實現泵的任意角度安裝。

           

          日本ULVAC CFB-1600N耐腐蝕分子泵 三、主要性能指標

           

          型號

          CFB-1600N

          進氣口法蘭

          LF250

          CF250

          排氣口法蘭

          KF50

          抽氣速率

          L/s

          1600

          壓縮比N2/H2

          1×109/1×104

          極限壓強

          Pa

          5×10-7

          8×10-8

          電機轉速

          rpm

          21000

          啟動時間

          min

          <6

          使用場合

          耐腐蝕

          振動值

          μm

          ≤0.15

          前極泵

          L/s

          15

          冷卻水溫度

          ≤20

          泵體烘烤溫度

          <120

          冷卻水流量

          L/min

          1

          加熱器功率

          W

          <700

          加熱器輸入電壓

          V

          AC220

          安裝方向

          垂直±5°

          重量

          kg

          ~39

           

          四、特性曲線及安裝尺寸

           

          CFB-N系列抗沖擊分子泵對大氣的抽速曲線 

          CFB-N系列抗沖擊分子泵對氮氣及氫氣壓縮比曲線

          CFB-N系列耐腐蝕復合分子泵安裝尺寸表

          型號規格

          CFB-1600N

          高真空法蘭

          LF250

          CF250

          D1

          Ф290

          Ф305

          D2

          Ф296

          Ф296

          D3

          □183.8

          □183.8

          L1

          161

          161

          L2

          166

          166

          H1

          394

          394

          H2

          110

          110

          H3

          142.5

          142.5

          H4

          104

          104

          泵腿螺釘孔

          4-M8

          4-M8




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