日本ULVAC CFB-600復合分子泵技術參數

發布時間： 2015-12-29　　點擊次數： 1539次

日本ULVAC CFB-600復合分子泵一、產品簡介

復合分子泵是靠高速轉動的轉子攜帶氣體分子獲得超高真空的一種機械真空泵，是由渦輪分子泵和盤式牽引泵組合而成，它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大、壓縮比高，牽引泵高壓強時抽速大、壓縮比高的特點，擴展了分子泵的應用范圍，廣泛應用于光伏、照明、航天航空、半導體、能源、軍工、激光、家電、材料、汽車、科研等真空技術的各個領域。

日本ULVAC CFB-600復合分子泵二、產品特點

復合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應；由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和捕油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。

日本ULVAC CFB-600復合分子泵三、主要性能指標

型號		CFB-600
訂貨號		3151	3152
進氣口法蘭	—	LF160	CF150
排氣口法蘭	—	KF40
抽氣速率	L/s	600
壓縮比N2/H2	—	1×109/8×103
極限壓強	Pa	5×10-7	8×10-8
電機轉速	rpm	24000
啟動時間	min	＜4.5
振動值	μm	≤0.1
前極泵	L/s	4-8
冷卻水溫度	℃	≤20
泵體烘烤溫度	℃	<120
冷卻水流量	L/min	1
加熱器功率	W	<550
加熱器輸入電壓	V	AC220
安裝方向	—	垂直±5°
重量	kg	～29

四、特性曲線及安裝尺寸

CFB系列復合分子泵安裝尺寸表

型號規格	CFB-600
進氣口法蘭	LF160	CF150
D1	Ф180	Ф202
D2	Ф236	Ф236
D3	□45.7	□145.7
L1	128	128
L2	137	137
H1	395.5	395.5
H2	108	108
H3	135.5	135.5
H4	104	104
泵腿螺釘孔	4-M8	4-M8

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